UV155C_中山イワタ光学株式会社,UVATA,光学レンズ

UV155C

概要

製品の利点

1.高解像度、100lp/mmの場合はMTF>0.03;

2.TV歪み<0.02%、フィールド曲<0.1mm;

3.独特の物体映像テレセントリック光路。

動作原理

DMD(Digital Micromirror Derice)マスクレスステッパーの投影対物レンズをレーザーレンズと略称する・マスクレスステッパを使用するユーザーは、自分のニーズに合わせて適切なパターンを設計してリソグラフィ加工を行う・マスクテンプレートを先に製造する必要はない・これにより、加工時間とコストを節約できる・ステッパの生産効率を効果的に高める。